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外延氈
優點:

● 專為SiC外延工藝設計,獨特的裝配結構,電阻率高,避免打火 

● 具有良好的保溫性能

性能指標
性能指標單位VU-LHF-HV02
體密度g/cm30.15-0.17
含碳量wt>99.9
處理溫度2400
平均熱導率   25℃W/(m·K)0.058
平均熱導率     1000℃W/(m·K)0.2
熱膨脹系數     1500℃10-6/℃2.8
灰分ppm<20
耐壓強度面方向(5%)Mpa0.25
兩側方向1.56
彎曲強度面方向(5%)Mpa0.35
兩側方向1.2
電阻率面方向(5%)Ω.m6.9*10-3
兩側方向7.6*10-4
使用環境空氣400
真空2400
惰性氣體3200



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